GSHD-EtherCAT系列驱动器|全闭环立式龙门机构中的应用

2022-05-28 mktadmin

晶圆是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备当中。受终端半导体市场需求上行影响，半导体晶圆制造产能也随之提升。

设备主要结构

此设备采用GEN插卡式运动控制器+GSHD双驱+多摩川TBL-is系列伺服电机的运动控制方式，外加雷尼绍RH200系列0.5微米的光栅尺系统，实现全闭环控制，配置主流的EtherCAT总线通信方式，驱动固高GSHD驱动器，采用龙门同步加上全闭环的控制方式，实现同步压料以及切割。

运动控制系统架构

——案例展示——

客户需求设备运行稳定

1、加速度需求为50r/s2；

2、速度需求600rpm；

3、速度波动不能超过±10rpm；

4、整定精度需求在10um内；

5、速度波动在需求内。

速度波动曲线

GSHD龙门优势：

1、双轴耦合控制，两个轴平均值代表系统质心，差值代表龙门偏差；

2、一个通道指令输入，从轴跟随，精度高，响应快；

3、调试简单，配置迅速。只需要配置主驱动器和控制卡的通信；

4、回零，自动对齐，保护等高级功能；

5、支持主从轴同步误差补偿。

GSHD驱动器抗干扰能力强，功能多，调试便捷，能够快速的完成基本的调试；GSHD驱动器的龙门调试简单便捷，从轴跟随主轴的方式，只需要调整主轴的性能即可，大大节省了调试驱动器的时间。龙门的扭摆控制，可以实时纠正两个轴的同步，使得同步精度更高；而GSHD驱动器的全闭环配置简单，加上全闭环控制，让设备精度更高。

使用固高自主研发driverstudio驱动器调试软件，能够更加方便的采集并分析曲线，采样频率能达到62.5us，能够直观的分析驱动器之间的协调性。

GSHD良好的速度跟随，快速的整定，能够在让设备运行更加的平稳，更快的整定到位。龙门的同步性好，主从跟随强，下图是设备在运行到位时的波形图，20ms整定到5um内，同步误差也在5um内。